ĸ芯:DUV 4釿›å…‰å®žçް2nm?
關於ä¸èŠ¯ä½¿ç”¨æ·±ç´«å¤–(DUV)光刻技術和4釿¨¡å¼ 實现2å…¬åˆ†æŠ€è¡“çš„æŠ€è¡“æˆ æžœï¼Œç›®å‰ å°šç„¡å…¬é–‹è³‡è¨Šã€‚ — Unveiling The Secret Handshake Project
å¾ˆå¤šäººå¾ˆæƒ³çŸ¥é “çš„æ˜¯ï¼Œé›–ç„¶æœ‰ASML的極紫外(EUV)光刻機,但是,如果ä¸åœ‹èƒ½å¤Ÿå°‡DUVå…‰åˆ»èˆ¬èˆ¬åˆ°é€™ç¨‹åº¦ï¼Œé€™å°‡å¦‚ä½•å½±éŸ¿å…¨ç ƒå Šå°Žé«”ç”Ÿæ…‹ç³»çµ±ï¼Ÿ
DUV光刻
DUVå…‰åˆ»æ˜¯ç”Ÿç”¢å Šå°Žé«”çš„åŸºç¤ŽæŠ€è¡“ã€‚å®ƒåˆ©ç”¨æ·±ç´«å¤–å…‰åœ¨ç¡…æ™¶åœ“ä¸Šåˆ»èš•å¾®å° åž‹çŠ¶ï¼Œå½¢æˆ é›»è·¯ã€‚ — Chandler Kinney's Height: How Tall Is She?
DUVå…‰åˆ»çš„é‡ è¦ æ€§
DUVå…‰åˆ»åœ¨å „ç¨®åº”ç”¨ä¸æ‰®æ¼”è‘—é—œé keysè§’è‰²ï¼ŒåŒ…æ‹¬é›»è…¦ã€ æ‰‹æ©Ÿå’Œæ±½è»Šã€‚å®ƒå ¯ä»¥å¯¦çŽ°æ›´å° ã€ æ›´å¿«ã€ æ›´æœ‰æ•ˆçŽ‡çš„è£½ç½®ã€‚
DUV光刻與EUV光刻
EUV光刻視為是DUV光刻的後繼者,它æ ä¾›äº†æ›´é«˜çš„è§£æž åº¦å’Œæ›´å¥½çš„å¾®å½±æ¨¡å¼ ã€‚ç„¶è€Œï¼ŒEUVå…‰åˆ»æ©Ÿé žå¸¸æ˜‚è²´ï¼Œå¹¶ä¸”ä¸¦é žéš¨æ™‚å ¯ç”¨ï¼Œé€ æˆ DUVå…‰åˆ»å° æ–¼è³‡é‡ æœ‰é™ çš„è£½é€ å•†è€Œè¨€ï¼Œæ˜¯ç›¸å° é¡žç®€ä¾¿çš„é ¸æ“‡ã€‚
å¦‚ä½•å®Œæˆ 2公分?
å°‡æœƒç›¸å…³çš„æ˜¯ï¼Œåœ¨å¾ˆå¤šçš„å…ƒä»¶çµ„å ˆåœ¨ä¸€èµ·ï¼Œä¾†é€ æˆ å¼·å¤§çš„å Šå°Žé«”ï¼Œè€Œæ–°è£½é€ è£½ç½®çš„å¾®å½±æ¨¡å¼ å°‡æœƒæ˜¯å¦‚ä½•å®Œæˆ çš„ã€‚å€‹åˆ¥è€Œè¨€ï¼Œé€™å°‡éœ€è¦ å¤šé “å…‰åˆ»è™•ç †ï¼Œåœ¨å…¶ä¸æ¯ å€‹éƒ½æœƒå°‡å¾®å½±æ¨¡å¼ åˆ»èš•åˆ°æ™¶åœ“ä¸Šã€‚
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ç¨‹å¼ çš„æœ€ä½³åŒ–
é™¤äº†å¤šé‡ å¾®å½±æ¨¡å¼ ä¹‹å¤–ï¼Œå®ƒéœ€è¦ åœ¨å…‰åˆ»ç¨‹å¼ ä¸Šå¾žäº‹æœ€ä½³åŒ–ï¼Œä¾†é€ æˆ 2å…¬åˆ†æ™¶ç‰‡ã€‚é€™åŒ…æ‹¬ç²¾ç´®çš„æŽ§åˆ¶ã€ å¾®å½±æ¨¡å¼ è¡ æº–ï¼Œå¹¶å°‡å° èª¤å·®é™ åˆ°æœ€ä½Žã€‚
é€™å°‡å¦‚ä½•å½±éŸ¿å Šå°Žé«”ç”Ÿæ…‹ç³»çµ±ï¼Ÿ
如果ä¸åœ‹èƒ½å¤Ÿå°‡DUVå…‰åˆ»èˆ¬èˆ¬åˆ°é€™ç¨‹åº¦ï¼Œé€™å°‡å° éŒ¯å®šå Šå°Žé«”ç”Ÿæ…‹ç³»çµ±å°Žè‡´å¾ˆå¤§çš„å½±éŸ¿ï¼š
- å®ƒå ¯ä»¥è®“ä¸åœ‹å…¬å ¸ç”Ÿç”¢é«˜æ•ˆèƒ½çš„å Šå°Žé«”ï¼Œé€™æœƒå¢žåŠ åœ‹å…§ç”Ÿç”¢å’Œå‡ å°‘å° é 賴外國來生產的碰壓。
- åœ¨å…¨ç ƒå Šå°Žé«”å¸‚å ´ä¸ï¼Œé€™å ¯ä»¥å¢žåŠ ç«¶çˆï¼Œå°Žè‡´åœ¨æ™‚é–“ä¸Šå° é€ æˆ å¿…è¦ çš„å®šåƒ¹ï¼Œå¹¶å° é¢¨æ ¼å ‡ç´šé€ æˆ å·¨å¤§çš„é»žå æˆ 本,來去單独控制新的EUV光刻機。
- å°±é žç‚ºå¤ªé«˜çš„æŠ€è¡“è¦ æ±‚è€Œè¨€ï¼Œç”Ÿç”¢ç™¼å±•å ¯èƒ½æœƒä» æŽ¡ç”¨å ¯èƒ½å·²ç¶“æ˜¯é€ æ‡‰çš„DUVæŠ€è¡“ï¼Œè€Œé€™æœƒé€ æˆ å¸‚å ´ä¸çš„很多國家在生產內從事生產。
有关ä¸åœ‹åœ¨å° æ¤é–‹ç™¼å šå‡ºçš„é€²å±•ï¼Œæœ€çµ‚é‚„æœ‰å¾ˆå¤šçš„ä¸ ç¢ºå®šæ€§ã€‚
尽管如æ¤ï¼Œç„¶è€Œï¼Œå¦‚æžœå¾µåº•è¦–ä¿®ä»–ï¼Œåˆ™å®ƒå° æœ‰è€ åœ°ä¸ºäº†è§£å®ƒå¦‚ä½•å½±éŸ¿å Šå°Žé«”ç”Ÿæ…‹ç³»çµ±è€Œèµ·ï¼Œä¾†å¾žäº‹åœ¨DUVå…‰åˆ»çš„é ˜åŸŸä¸çš„多元化生產。